無限變焦形貌分析儀介紹

InfiniteFocus 是微納米級質(zhì)量保證的光學(xué)3D測量儀，它的操作原理是小景深的光學(xué)系統(tǒng)與垂直掃描相結(jié)合，利用焦距變化提供形貌和色彩信息。新穎*的運算法則把它重建成包含形貌信息的獨立的3D數(shù)據(jù)集，可追蹤的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)可以驗證測量結(jié)果。